低溫等離子消毒滅菌柜是采用過氧化氫低溫等離子進行殺菌的，可以快速消除器械上的細菌，是目前醫學上使用特別廣的消毒滅菌器械。常用于外科植入物、患者端聯接電線電纜、光學鏡片和玻璃鏡頭、動力設備和電池、硬式內窺鏡、導管和手術器械的消毒滅菌。

    使用低溫等離子消毒滅菌柜的好處表現為：消毒滅菌速度快，消毒1次的時間短。國外報道用過氧化氫等離子體作用15min，可殺滅醫療器械上的各種微生物；

    目前衛生部審批的過氧化氫低溫等離子體消毒滅菌設備作用44-65min不等，可殺滅醫療器械上的各種微生物。消毒滅菌后的醫療器械可以立即使用。在消毒滅菌過程中僅排出少量氧氣和水蒸氣，消毒滅菌后無毒性殘留物，對使用環境無害，無需外加換氣和通風裝置。操作系統采用自動控制系統，并配備打印輸出，便于核查消毒滅菌過程，使用方便。該消毒滅菌技術與戊二醛消毒滅菌和環氧乙烷低溫消毒滅菌比較，在大醫院有明顯的臨床使用優勢。