在醫院中有著大量各種各樣的病人，因此病菌較多，且由于環境較為開放，這些病菌極易對醫護人員的工作造成損害。低溫等離子滅菌器是一種通過等離子技術實現低溫滅菌的設備，由于其殺菌效果好，對細菌處理較為干凈，因此被廣泛應用。
低溫等離子滅菌器的滅菌方式：
在密封容器形成的滅菌室內，根據預設條件和特定的設備，激發產生輝光放電，形成低溫等離子體。再以過氧化氫作為H?O?介質，等離子體中含有氫氧自由基HO·過羥自由基HO?·、激發活性H?O?、活性氧原子O·活化氫原子H·等活性成分，這些活性離子以及豐富的紫外線具有很高的熱動能，從而極大地提高了與微生物蛋白質和核酸物質的作用效能，可在短時間內使微生物死亡，達到對器械滅菌的目的。
低溫等離子滅菌器在低溫（60℃以下）和真空狀態下，通過高頻電場作用，使滅菌容器艙內形成均勻的等離子場，等離子體在形成過程中產生的大量紫外線，可直接破壞微生物的基因物質，紫外線固有的光解作用打破了微生物分子的化學鍵，再生成揮發性的化合物。通過等離子體的蝕刻作用，等離子中活性物質與微生物體內的蛋氫質和核酸發生化學反應，能夠摧毀微生物和擾亂微生物的生存功能。然后注入過氧化氫滅菌劑，在滅菌艙內霧化彌漫。過氧化氫在此作用中將會有離子化分解反應，并作用于微生物之細胞，破壞其生命，進一步對微生物實施殺滅。滅菌完成后分解成水分子及氧分子，無毒害物質殘留，不需通風和排水，安全而環保。
因此可以說低溫等離子滅菌器的使用不僅減輕了醫護人員面對工作危害及環境污染的難題，同時也為醫療機構節約了大量的滅菌成本，是醫院、研究所等地使用較廣泛的醫用滅菌器械。